一种AZO靶材及AZO透明导电薄膜的制备方法[发明专利]

来源：独旅网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种AZO靶材及AZO透明导电薄膜的制备方法专利类型：发明专利发明人：王新华,叶静,严密申请号：CN201410105233.8申请日：20140320公开号：CN103882384A公开日：20140625

摘要：本发明提供了一种高致密度AZO靶材的制备方法及用该靶材制备具有良好的光电性能AZO透明导电薄膜的方法，包括以下步骤：在介质中加入ZnO及AlO球磨，使其充分混合；将球磨后的样品充分干燥，加入聚乙烯醇造粒，然后用粉末压片机压制成型；用激光脉冲沉积技术（PLD）将靶材沉积到普通载玻片上。本发明所使用的原料廉价并且整个过程不用考虑气体成分的影响，工艺简单，制备的AZO透明导电薄膜具有低的电阻率、高的可见光透过率以及高的红外反射率，可满足低辐射镀膜玻璃和平板显示所用镀膜玻璃的要求。

申请人：浙江大学

地址：310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号

国籍：CN

代理机构：杭州天勤知识产权代理有限公司

代理人：胡红娟

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文