PVD与CVD涂层工艺比较

来源：独旅网

PVD与CVD涂层工艺比较

沉积温度

涂层厚度 2～5μm, 涂层较薄，刃口锋利。

涂层表面状态

主要涂层材料

涂层

对环境

主要应用领域

结合

影响

强度低

物理气相沉积

500℃或更低，

沉积温度低刀具变型不，基体的硬度强度不降低。

涂层为压应力，有利于抑制裂缝的扩展；刃口可不作钝处理；表面致密，粗糙度低。涂层为拉应力，易生成裂缝；刃口必须作钝 TiN TiCN TiA1N A12o3 A1CrN MoS

无污染

1. 高速钢通用刀具：钻头、丝锥、立铣刀。 2. 高速钢精密复杂刀具：拉刀、齿轮刀具。 3. 整体硬质合金刀具。 4. 可转位螺纹刀片、切断、切槽刀片。 WC/C 等。

化学气相

1000℃，沉积温度高，基体的硬度、强度降低

5～20μm 或更厚，适合于开发多层厚膜涂层，

TiN TiC TiCN A12o3

高

排出的废气对环境有污染。

1. 硬质合金可转为刀片：车刀片、铣刀片等。 2. 金刚石涂层。，需开发沉

专门的基积

体用于涂层

。

高耐磨性。化处理；表面较粗糙。

ZrO2 金刚石等。

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文