现在光学的镀膜工艺

序言

经过了几百年人类的不断的努力，光学薄膜已经成为现代光学的一个重要组

成部分。激光、空间技术和光谱技术的飞速发展和电子计算机的推广应用，推动

了光学薄膜的飞速发展。时至今日，薄膜在现代科学技术中的重要性与日俱增。

真空镀膜技术在现代工业、近代科学技术中得到广泛的应用。像大家现在所熟知的光学仪器的反射镜，半导体器件中的电极引线，放映灯的冷光镜，激光器谐振腔的高反射膜等都是四用真空镀膜的方法制备的。随着薄膜光学、半导体技术和集成光学等的发展，真空镀膜技术在理论上、工艺上和一起设备方面都取得了很大的发展。并在集成光学薄膜期间，计算机上存贮、记忆用的磁性薄膜，材料表面改性和建筑上使用的隔热保温薄膜、电致控光太阳能薄膜等方面取得了很大的成功。

近几年来，随着掺铒光纤放大器(Erbium Doped Fiber Amplifier，EDFA)、

波分复用(WDMA)、自适应光学(Adaptive Optics，AO)等技术的不断发展，大气光

通信在传输距离、传输容景、可靠性等方而都有了很大改善，适用面也越来越宽。

由于大气作用（包括大气衰减和大气折射率随机性变化造成的光束闪烁、扩

散和弯曲），大气光通信的工作波长都位于大气衰减小、透过率高的波段，即大

气窗口内，如10. 6um。了对可见与近红外波段光的应用。同时，该波长属

红外波，当照射到人眼时，大部分能量会被角膜吸收，对视网膜造成的损伤相对

较小。提高激光器的输出功率，也可以有效克服大气衰减作用。为了使处在可见

与红外双波段的光也能够在增透膜系列中得到应用，所以本文对这‘课题进行初

步的研究。

随着军用红外技术在大气光通信方面的广泛应用，军用光学系统工作光谱区

越来越宽，不仅要求覆盖远红外区．同时还必须覆盖可见与近红外区，这就使得

具有高透射率、宽光谱覆盖范围、可靠性好，能够工作于恶劣的地面与空间环境

的高性能的可见与红外双波段宽带增透膜的研制成为必要。国内外对于可见和近

红外增透膜[1]、远红外多波段增透膜【2-4】等都分别进行了多方而的研究，但是对于可见与红外双波段宽带增透膜的研究比较少见。本文所要研制的增透膜是沉秋在多光谱ZnS基底上，要求可见与近红外波段400-1000nm及远红外波段7-11um，

平均透射率大于90%。